设备可加裝Robot配合石英管调整治具；不必局限于单一尺寸的石英管的清洗。
槽底有滚轮装置，可确保石英管清洗干净。
设备附透明PVC拉门，以隔絕酸氣外漏。
有监视功能：由操作面板或触控荧幕监视。
PLC控制模式，以利使用用者自行设定最佳的清洗流程及参数。
安全保护装置：人机界面密码保护，EMO按钮及Leak Sensor,过温过载保护装置及漏电断路保护装置以符合SEMI S2-93安全规范。
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